외관검사기 (Mini/Micro LED)

GaN, GaAs LED 및 기타 복합 실리콘 기반 웨이퍼의 외관 검사에 사용됩니다.

장비가 감지할 수 있는 결함에는 전극 탈락, 전극 오염, 바늘 자국 편차, 금속 잔류물, 후면 도금 불량, 발광 영역 오염, 치핑, 쌍정, 스트립 파손 확장, 긁힘, 링 모양 에피택셜 결함, ESD 폭발 반점, 전극 긁힘, 비정상적인 전극 흑점 등

1. 고정밀 모션 플랫폼
2. 로봇이 자동으로 재료를 선택하고 배치합니다.
3. 공기에 떠 있는 충격 흡수 대리석 플랫폼
4. 선택할 수 있는 다중 채널 광원(RGB 축 조명, UV 링 조명) , 백라이트)
5. 소프트웨어 인터페이스는 간단하고 작동이 쉽습니다.
6. 자동 광원 검사 및 실시간 생산량 모니터링
7. 자체 개발된 AI 기반 지능형 감지 알고리즘 다재다능하고 정확하며 사용하기 쉽고 신뢰성이 높습니다. 

8.복잡한 배경에서 약한 결함을 감지하는 능력이 향상되어 감지 누락률을 크게 줄일 수 있습니다.