반도체 디스플레이 전자동 프로브 스테이션

1. 단안현미경  
결합된 매칭 디자인, 0.7-4.5배 광학 배율, 고해상도, 고대비 이미징, 최대 2um의 연속 자동 줌 및 반복 위치 지정 정확도, 부드럽고 안정적인 줌 프로세스, 반사율이 높은 제품에 적합한 최소 중심 오프셋; 웨이퍼.
2. 백색광원
100~20000 nit, 자유롭게 조정 가능한 균일성: ≤95%. 하단 광원은 다중 대역 LED 광원을 채택합니다.
3. 대형 샘플 스테이지, 테이블 크기 500mm*300mm, 평탄도 150um.
4. 프로브 카드는 바늘 위치 지정을 용이하게 하기 위해 별도의 독립적인 모션 제어를 지원합니다.
5. 샘플 진공 흡착 영역 제어, 필요에 따라 흡착 영역을 선택합니다.
6.V3
고정밀 테스트 프로브 홀더
IV/CV 감지 및 오류 분석을 위해 설계됨
7. 초정밀 스크류 드라이브, 고정밀 크로스 롤러 가이드 및 정확한 위치 결정.

1. 단일 채널 대형 패널 레이저(TEG-2001) 프로브 스테이션은 1"~105"(고객 요구 사항에 따라 맞춤화) 대형 TFT-LCD 신뢰성 검증 장비에 사용됩니다.
2. 이 장비에는 시뮬레이션된 광원, 온도 제어, 광학 관찰 및 전기 측정과 같은 다중 특성 장비가 통합되어 있습니다. 사용자는 필요에 따라 다양한 온도 및 시뮬레이션된 주변 조명 조건에서 입력 및 출력 전기 신호의 변화를 테스트하여 품질과 품질을 확인할 수 있습니다. 패널의 신뢰성.
3. 장비는 Panle 픽셀 검사를 수행하고 레이저를 추가하며 TFT 회로 수리를 수행할 수도 있습니다.
4. 장비는 갠트리 구조로 제공되며 소프트웨어는 전체 샘플 영역에서 현미경의 움직임을 제어합니다.
5. 소스 미터 또는 반도체 분석기와 결합하여 Panle의 IV, CV, 항복 전압, 펄스, 주파수 및 기타 전기적 특성 테스트 및 분석을 수행할 수 있습니다