조도 및 윤곽 형상 측정
SURFCOM NEX Series
◈ 개 요
용도에 알맞게 (조도/윤곽/통합 등) 검출기, 구동부,
측정대를 선택 하는 확장성이 넓은 측정기
SURFCOM NEX Series는 조도 측정, 윤곽 형상 측정, 조도 윤곽 통합 측정의 3가지 기능을
지원 하고 있어 용도에 따라 검출기를 선택 할 수 있는 멀티센서 사양 입니다.
(추 후 추가 가능)
◈ 특 징
조도, 윤곽 형상, 하이브리드도 추 후 추가 가능
검출기 교환만 하면 조도,윤곽,하이브리드 모두 평가 가능 합니다.
저진동에 의한 Linear 구동부
ACCRETECH은 세계최초로 구동부에 고 정도 Linear 모터를 탑재(특허) 하고
동시에 근본적인 구조상의 고정밀도화의 한계를 극복하였습니다.
비접촉 리니어 모터 구동의 유효성
리니어 모터는 왕복운동에 적합하며, 정확한 위치 결정과 고속측정이 가능합니다.
리니어 드라이브의 경우, 기본적으로 리니어모터 + 스케일뿐인 간단 제어이기 때문에
높은 응답성과 높은 정밀도 위치 선정이 가능 합니다.
Positioning
X축 구동부에 부착되어 있는 수동 이송 기구는, 리니어 모터에 의한 초 저진동 특성에 영향이 없도록
실제 측정시에는 수동 기어 기구부와 리니어 측정 기구부의 연결을 자동으로 분리하는 구조 입니다.
정밀도 보증 온도 범위를 20±5℃로 확대
NEX 시리즈의 구동부는 스케일 온도 보정 기술을 탑재하여 시스템의 정도 보증 범위를
20±2℃에서 20±5℃로 확대 하였습니다.