반도체 LSI/FPD현미경

L200N / L200ND

◈ 개 요

반도체 LSI / FPD 검사 현미경

- 고휘도 반사 투과조명

- 고배율 고해상도 샘플관찰

- 모터라이징 시스템

◈ 특  징

반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경

관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화

FPD / LSI 검사에 최적화된 4가지 타입으로 Line-up 구성

현미경 스테이지

L200N / 200ND 스테이지

-측정거리 : 200 x 200mm (8" x 8")

 (6인치 / 8인치 웨이퍼 대응)

L300 / 300ND스테이지

-측정거리 : 350 x 300mm (14" x 12")

 (12인치 웨이퍼 대응)

대물렌즈 : CFI60-2

-높은 NA와 긴 작동거리

-1x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x의 다양한 렌즈

-색수차 보정의 향상

환경대응력 및 조작성 향상

12V100W 이상의 밝기를 자랑하는 고휘도 12V50W 할로겐 조명

-12V100W에 비해 약 1/2의 소비전력을 사용하며 동등 이상의 발기 실현

-Free centering 램프하우스 채용으로 램프 교체가 용이

-램프하우스에 Back mirror가 장착, 12V100W 조명 대비 20% 이상의 밝기 구현

-열에 의한 Un-focus 현상 방지

기존 대비 3배의 내구성으로  강화된 정동 리볼버 노즈피스

-대물렌즈 6개 장착가능

-3곳에 센터링 보정 기구부 장착

-편심이 적은 대물렌즈와의 조합으로 저배율~고배율 전환시 센터링 오차가 적어서 사용이 편리

-배율전환시 자동으로 조명이 off되어 산란광에 의한 작업자의 시력 보호

오염에 강한 정전기 방지 코팅

-본체,스테이지, 경통 등에 정전기 방지 코팅 채택

-오염대책 강화

-정전기에 의한시료 손상 방지

최적의 눈높이에서 관찰 가능한 정립 틸팅 3안헤드

-시야수 25mm의 초광시야 타입, 틸팅 각도 30도

-작업자 신장에 맞게 Eye-Level을 조정하여 편안한 관찰이 가능

스테이지 미동핸들 위치 고정

-샘플 관찰위치에 상관없이 미동핸들위치가 바뀌지 않고 조정이 가능하여 조작이 편리

-모든 조작부 위치가 근저해 있어 포커싱 및 스테이지 이동 조작이 편리

초점 잡기가 편리한 Focus-Target 내장

Focus-Target을 광로에 삽입하여 Bear Wafer 등의 패턴이 없는 샘플관찰시에도 쉽고 빠르게 초점을 잡을 수 있습니다.

본체 전면부 중심에 조작부 배치

-스테이지 핸들, 포커스 핸들, 배율전환 버튼 등 모든조작부가 현미경 전면부에 배치

-장시간 사용시 작업자 피로도를 최소화한 디자인 설계

◈ 스  펙